독일 미래상 2020 : TRUMPF, ZEISS 및 Fraunhofer의 EUV 개발자가 지명되었습니다!
연방 대통령 실은 오늘 뮌헨 독일 박물관 명예의 전당에서 2020 년 독일 미래상 후보자를 발표했습니다. 최고 그룹 (연방 대통령 기술 및 혁신 상 최종 라운드를위한 세 가지 프로젝트)은 TRUMPF, ZEISS 및 Fraunhofer IOF의 전문가 팀입니다. "EUV 리소그래피-디지털 시대를위한 새로운 조명 ", 박사. Peter Kurz, ZEISS 반도체 제조 기술 (SMT) 사업부, Dr. Michael Kösters, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing 및 Dr. Jena의 Fraunhofer 응용 광학 및 정밀 역학 IOF 연구소의 Sergiy Yulin이 지명되었습니다.
EUV 리소그래피를 가능하게하는 빛을 생성하는 데 사용되는 세계에서 가장 강력한 펄스 산업용 레이저 앞에있는 전문가 팀 (왼쪽부터) : Dr. Peter Kurz, ZEISS SMT Division, Dr. Michael Kösters, TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing and Dr. Sergiy Yulin, Fraunhofer 응용 광학 및 정밀 역학 연구소 IOF
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